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產品簡介
磁控濺射鍍膜儀:一鍵鍍膜，全自動操作;7寸觸摸屏，工作參數實時查看
?一鍵鍍膜，全自動操作
?7寸觸摸屏，工作參數實時查看
?鍍膜過程樣品無溫升適用范圍更廣
?抽氣效率高2分鐘內開始鍍膜
?磁控濺射，薄膜顆粒更小滿足
高分辨率看樣需求
?標配旋轉樣品臺薄膜均勻性更好
主要參數 | |||
外形尺寸 | 330(L)×300(H)×370(D) mm | 顯示屏 | 7 英寸觸摸屏、全數字顯示 |
可用靶材 | Au、Pt、Cu、Ag、Pd等 | 靶材尺寸 | Φ50mm，厚度支持0.1-2mm |
工作電流 | 1-50mA可調 | 鍍膜時間 | 1-9999s可調 |
真空泵 | 旋片式真空泵（可選干泵） | 真空泵抽速 | 1.1L/s |
真空室 | φ130×100mm 高強度玻璃 | 極限真空 | ≤0.5Pa |
工作介質 | 氬氣或氮氣（空氣） | 工作真空 | 1-20Pa可調 |
供電 | AC220V/50Hz | 額定功率 | 500W |
樣品臺 | Φ80mm，可放置14個標準樣品座，與靶材距離20-45mm可調節(jié)，標配旋轉樣品臺 | ||
其它 | 真空度、工作電流可實時曲線顯示 | ||
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